Reinraumtechnik
Nitto Kohki
Die Nitto Kohki Semicon-Cupla sind für Reinraum- und Halbleiteranwendungen entwickelt, bei denen Partikelfreiheit und Medienreinheit höchste Priorität haben. Die SP- und SCT-Serien aus elektropoliertem Edelstahl erzeugen bei jeder Betätigung nur minimale Partikelmengen und eignen sich für Prozessgase, Spülstickstoff und hochreine Medien in der Wafer-Fertigung.
Die beidseitig absperrende, totraumarme Bauform verhindert Medieneinschluss und Kontamination, die partikelarme Steckmechanik ist nach SEMI-S2-Sicherheitsrichtlinien konzipiert und für ISO-Klasse-Umgebungen geeignet. FKM-Dichtungen und SUS-316L-Gehäuse sichern Korrosions- und Medienbeständigkeit.
Nitto Kohki Reinraumtechnik - Semicon-Cupla
| Kriterium | Nitto Kohki | Parker | Stäubli | Rectus |
|---|---|---|---|---|
| Dedizierte Reinraumserie | Ja (Semicon SP/SCT) | Begrenzt | Ja (CGO) | Nicht spezifiziert |
| Reinraumeignung | partikelarm, ISO-Klasse | eingeschränkt | ISO-Klasse 4-6 | nicht spezifiziert |
| Werkstoff | SUS 316L elektropoliert | Edelstahl | Edelstahl | Stahl/Messing |
| Beidseitige Absperrung | Ja | Teilweise | Ja | Begrenzt |
| SEMI-S2-Auslegung | Ja | Nein | Teilweise | Nein |
| Hochreingas-Eignung | Ja | Teilweise | Ja | Nein |
| Baureihe | Anwendung | Werkstoff | Besonderheit |
|---|---|---|---|
| Semicon SP Cupla | Halbleiter-Prozessgase | SUS 316L elektropoliert | partikelarm, totraumarm |
| Semicon SCT Cupla | Reinraum, hochreine Medien | SUS 316L | beidseitige Absperrung, SEMI S2 |
Typische Einsatzbereiche: Halbleiter- und Wafer-Fertigung, Reinraumprozesse der Mikroelektronik und Photovoltaik, Pharma- und Medizintechnik (GMP), Analysen- und Labortechnik mit hochreinen Gasen sowie Anlagen nach SEMI S2 und ISO 14644.
Baureihen dieser Kategorie im Vergleich
Der maximale Betriebsdruck ist das erste Auswahlkriterium. Er entscheidet über die Baureihe, nicht über die Baugröße: eine Niederdruckkupplung lässt sich nicht durch eine größere Nennweite hochdrucktauglich machen.
| Baureihe | Betriebsdruck max. | Größen | Absperrart | Medien | Gehäusewerkstoff | Katalogseite |
|---|---|---|---|---|---|---|
| SEMICON CUPLA SCT Type | 2 bar | Typ SCT: 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/4-18NPT, 3/8-18NPT, 1/2-14NPT, 3/4-14NPT, 1-11.5NPT. Typ SCY: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT | beidseitig absperrend | Hochreine Chemikalien, Wasser, Gas, Druckluft | Polytetrafluorethylen (PTFE) (Typ SCT), Elektropolierter Edelstahl (SUS304) (Typ SCY) | 145 |
| SEMICON CUPLA SP Type | 2 bar | Typ SP und SCS: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT, 19/32-18UNS. Typ SCY: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT. Typ SCAL: 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll. Typ SCF: Gewinde 3/8 Zoll, 1/2 Zoll / M26, M32 sowie Rohrtülle ø6 mm x ø8 mm, ø8 mm x ø10 mm | beidseitig absperrend (Typ SCAL: beidseitig absperrend und tropfarm) | Hochreine Chemikalien, Wasser, Gas, Druckluft | Elektropolierter Edelstahl (SUS304) (Typ SP, SCS, SCY), Polytetrafluorethylen (PTFE) (Typ SCAL), Fluorpolymer (PFA) (Typ SCF) | 143 |
Die vier Absperrarten
Die Absperrart bestimmt, was beim Trennen passiert. Sie ist das zweite Auswahlkriterium und hängt davon ab, ob die Leitung beim Trennen unter Druck steht und wie viel Medium austreten darf.
In fünf Schritten zur richtigen Kupplung
- Medium und Betriebstemperatur festlegen, daraus folgt der Dichtungswerkstoff.
- Maximalen Betriebsdruck bestimmen, daraus folgt die Druckklasse und damit die Baureihe.
- Absperrart wählen: einseitig, beidseitig, ventillos oder planflächig.
- Anschlussart und Größe festlegen: Schlauchtülle, Außengewinde, Innengewinde oder Steckanschluss.
- Gehäusewerkstoff nach Medium und Umgebung wählen, dann Stecker und Muffe als Paar bestellen.
Grundlage dieser Seite ist der Nitto Kohki Gesamtkatalog Quick Connect Couplings C01en-b mit 190 Seiten. Der vollständige Katalog steht auf dieser Seite als PDF zum Download bereit.
