Die Nitto Kohki Semicon SP Cupla ist eine partikelarme Reinraum-Schnellkupplung für Prozessgase, Spülstickstoff und Reinstmedien mit einem Betriebsdruck im Niederdruckbereich. Elektropolierter Edelstahl, partikelarm, mit EPDM-/FKM-/Kalrez-Dichtungen.
Als autorisierter Nitto Kohki Distributor führen wir 72 Varianten der Semicon SP Cupla - Gehäuse aus Edelstahl (SUS 316), Dichtungen aus EPDM, FKM, Kalrez, Modellreihe 1P-304 …. Ausführung nach SEMI S2.
⚡im Niederdruckbereich - Betriebsdruckbereich für Prozessgase, Spülstickstoff und Reinstmedien
Fluorkautschuk (FKM), Ethylen-Propylen-Kautschuk (EPDM), Perfluorelastomer (P), Kalrez (KL), Dichtung aus Fluorkunststoff PTFE (TF) (Typ SCY), FEP-ummantelter O-Ring aus Fluorkautschuk (Typ SCF), Ventil Typ SCS: Fluorkunststoff (Muffe: PFA, Stecker: PTFE, außer 1P und 2P aus PFA), Ventil Typ SCY: Fluorkunststoff (PTFE, außer 1S und 2S aus PFA), Ventil Typ SCAL und Typ SCF: Fluorkunststoff (PFA)
Betriebsdruck max.
0.2 MPa {2 kgf/cm2}
Arbeitstemperatur
Typ SP: Fluorkautschuk (FKM): 0 °C bis +50 °C | Typ SP: Ethylen-Propylen-Kautschuk (EPDM): 0 °C bis +50 °C | Typ SP: Perfluorelastomer (P): 0 °C bis +50 °C | Typ SP: Kalrez (KL): 0 °C bis +50 °C | Typ SCS Muffen-O-Ring: Perfluorelastomer (P): 0 °C bis +50 °C | Dichtung Typ SCY: Perfluorelastomer (P): 0 °C bis +50 °C | Typ SCAL Muffen-O-Ring: Perfluorelastomer (P): +5 °C bis +50 °C | Typ SCF O-Ring: FEP-ummantelter Fluorkautschuk (Kennzeichnung: -): +5 °C bis +50 °C
Ventilbauart
beidseitig absperrend (Typ SCAL: beidseitig absperrend und tropfarm)
Zugelassene Medien
Hochreine Chemikalien, Wasser, Gas, Druckluft
Größenbereich
Typ SP und SCS: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT, 19/32-18UNS. Typ SCY: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT. Typ SCAL: 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll. Typ SCF: Gewinde 3/8 Zoll, 1/2 Zoll / M26, M32 sowie Rohrtülle ø6 mm x ø8 mm, ø8 mm x ø10 mm
Katalogseite
C01en-b, 143
Funktionsprinzip
Beide Kupplungshälften schließen beim Trennen. Der Leitungsinhalt bleibt auf beiden Seiten erhalten.Ablauf beim Kuppeln einer Schnellkupplung mit Kugelverriegelung.
SP Type: Universalausführung mit Edelstahlgehäuse und Gummidichtung. Elektropoliertes Gehäuse für erhöhte Korrosionsbeständigkeit.
SP Type: Gehäuse und Ventilfedern bestehen aus Edelstahl (SUS304). Das Gehäuse ist für erhöhte Korrosionsbeständigkeit elektropoliert.
SP Type: Die Dichtungswerkstoffe lassen sich passend zu Medium und Anwendung wählen und decken so flexibel die Anforderungen Ihres Halbleiterfertigungsprozesses ab.
SP Type: Alle Bauteile werden im Reinraum gereinigt, montiert, geprüft und verpackt.
SP Type: Fettfrei. Auf das Dichtungsmaterial wird kein Fett aufgebracht.
SP Type: Jeder Stecker wird mit einer Staubschutzkappe geliefert.
SP Type: Gehäuse und Ventilfedern aus Edelstahl SUS316 sind als Sonderanfertigung erhältlich.
SCS Type: Gehäuse aus Edelstahl und Ventile aus fluorhaltigem Kunststoff.
Alle Modelle der Baureihe
SP-P - Innengewinde
Modell
Kupplungsteil
Anwendung
Edelstahl (g)
L
C
T
øH(WAF)
1P-304
Stecker
Für 10L bis 20L
19
29
19
Rc 1/8
Hex.14
1P-304-NPT
Stecker
Für 10L bis 20L
19
29
19
1/8-27NPT
Hex.14
1P-304-UNS
Stecker
Für 10L bis 20L
34
33
19
19/32-18UNS
Hex.21
2P-304
Stecker
Für 10L bis 20L
35
36
22
Rc 1/4
Hex.17
2P-304-NPT
Stecker
Für 10L bis 20L
35
36
22
1/4-18NPT
Hex.17
2P-304-UNS
Stecker
Für 10L bis 20L
41
36
22
19/32-18UNS
Hex.21
3P-304
Stecker
Für 100L bis 200L
60
40
25
Rc 3/8
Hex.21
4P-304
Stecker
Für 100L bis 200L
115
44
28
Rc 1/2
Hex.29
6P-304
Stecker
Für 100L bis 200L
216
52
36
Rc 3/4
Hex.35
8P-304
Stecker
Für 100L bis 200L
352
62
40
Rc 1
Hex.41
SP-S - Innengewinde
Modell
Kupplungsteil
Anwendung
Edelstahl (g)
L
øD
T
øH(WAF)
1S-304
Muffe
Für 10L bis 20L
82
48
24
Rc 1/8
14
1S-304-NPT
Muffe
Für 10L bis 20L
84
48
24
1/8-27NPT
14
2S-304
Muffe
Für 10L bis 20L
138
58
28
Rc 1/4
19
2S-304-NPT
Muffe
Für 10L bis 20L
138
58
28
1/4-18NPT
19
3S-304
Muffe
Für 100L bis 200L
204
65
35
Rc 3/8
21
4S-304
Muffe
Für 100L bis 200L
424
72
45
Rc 1/2
29
6S-304
Muffe
Für 100L bis 200L
708
88
55
Rc 3/4
35
8S-304
Muffe
Für 100L bis 200L
1081
102
65
Rc 1
41
SCS-P - Innengewinde
Modell
Kupplungsteil
Anwendung
Edelstahl (g)
L
C
T
øH(WAF)
SCS-1P
Stecker
Für 10L bis 20L
17
29
19
Rc 1/8
Hex.14
SCS-1P-NPT
Stecker
Für 10L bis 20L
17
29
19
1/8-27NPT
Hex.14
SCS-1P-UNS
Stecker
Für 10L bis 20L
34
33
19
19/32-18UNS
Hex.21
SCS-2P
Stecker
Für 10L bis 20L
32
34
22
Rc 1/4
Hex.17
SCS-2P-NPT
Stecker
Für 10L bis 20L
29
34
22
1/4-18NPT
Hex.17
SCS-2P-UNS
Stecker
Für 10L bis 20L
41
36
22
19/32-18UNS
Hex.21
SCS-3P
Stecker
Für 100L bis 200L
61
40
25
Rc 3/8
Hex.21
SCS-4P
Stecker
Für 100L bis 200L
114
44
28
Rc 1/2
Hex.29
SCS-6P
Stecker
Für 100L bis 200L
198
52
36
Rc 3/4
Hex.35
SCS-8P
Stecker
Für 100L bis 200L
338
62
40
Rc 1
Hex.41
SCS-S - Innengewinde
Modell
Kupplungsteil
Anwendung
Edelstahl (g)
L
øD
T
øH(WAF)
SCS-1S-NPT
Muffe
Für 10L bis 20L
84
48
24
1/8-27NPT
14
SCS-2S-NPT
Muffe
Für 10L bis 20L
138
58
28
1/4-18NPT
19
SCY - Innengewinde
Modell
Kupplungsteil
Anwendung
Edelstahl (g)
L
øD
T
øH(WAF)
SCY-1S
Muffe
Für 10L bis 20L
116
(48)
29
Rc 1/8
18
SCY-1S-NPT
Muffe
Für 10L bis 20L
116
(48)
29
1/8-27NPT
18
SCY-2S
Muffe
Für 10L bis 20L
180
(58)
33
Rc 1/4
22
SCY-2S-NPT
Muffe
Für 10L bis 20L
180
(58)
33
1/4-18NPT
22
SCY-3S
Muffe
Für 100L bis 200L
292
(65)
39
Rc 3/8
27
SCY-4S
Muffe
Für 100L bis 200L
519
(72)
50
Rc 1/2
35
SCY-6S
Muffe
Für 100L bis 200L
862
(88)
59
Rc 3/4
41
SCY-8S
Muffe
Für 100L bis 200L
1360
(102)
68
Rc 1
50
SCAL-P - Innengewinde
Modell
Kupplungsteil
Anwendung
Kunststoff (g)
L
øD
C
T
øH(WAF)
SCAL-2P
Stecker
-
37
50
27.5
24
Rc 1/4
24
SCAL-3P
Stecker
-
73
63
34.5
28
Rc 3/8
30
SCAL-4P
Stecker
-
107
72
39.5
30.5
Rc 1/2
36
SCAL-6P
Stecker
-
153
77
48
36.5
Rc 3/4
41
SCAL-S - Innengewinde
Modell
Kupplungsteil
Anwendung
Kunststoff (g)
L
øD
T
øH(WAF)
SCAL-2S
Muffe
-
97
(60.5)
40.5
Rc 1/4
27
SCAL-3S
Muffe
-
135
(69.5)
47
Rc 3/8
32
SCAL-4S
Muffe
-
177
(76)
52
Rc 1/2
36
SCAL-6S
Muffe
-
339
(90)
65
Rc 3/4
46
SCF-P-CONT - Für Behälteranschluss
Modell
Kupplungsteil
Anwendung
Kunststoff (g)
L
C
T
øD(WAF)
SCF-2P-M26
Stecker
Für 10L bis 20L
33
(53.7)
(31.2)
M26x1.5
Hex.30 x ø32.5
SCF-3P-M32
Stecker
Für 10L bis 20L
50
(57.7)
(35.2)
M32x1.5
Hex.36 x ø39
SCF-S-TUBE - Für Rohranschluss
Modell
Kupplungsteil
Anwendung
Kunststoff (g)
L
øD
øE
SCF-2SL-N08
Muffe
Für 10L bis 20L
76
77
33
(45)
SCF-3SL-N10
Muffe
Für 10L bis 20L
116
85
39
(51)
SCF-P - Innengewinde
Modell
Kupplungsteil
Anwendung
Kunststoff (g)
L
øD
C
T
øB
øA(WAF)
øH(WAF)
SCF-2P-3
Stecker
-
53
(67.2)
32.5
(31.2)
Rc 3/8
27
24
Hex.30
SCF-3P-4
Stecker
-
79
(71.2)
39
(35.2)
Rc 1/2
33
30
Hex.36
SCF-S - Innengewinde (gerade Ausführung)
Modell
Kupplungsteil
Anwendung
Kunststoff (g)
L
øD
A
T
øE
øH(WAF)
SCF-2S-3
Muffe
-
83
(92)
33
27
Rc 3/8
(45)
24
SCF-3S-4
Muffe
-
124
(102.5)
39
33
Rc 1/2
(51)
30
Maße in Millimeter. Werte in Klammern gelten im gekuppelten Zustand.
Zeichenerklärung: L = Gesamtlänge; H = Schlüsselweite oder Außenmaß; D = Außendurchmesser der Muffe; A = Länge der Schlauchtülle; C = Hülsenmaß; T = Gewinde oder Tüllengröße; B = Durchgangsbohrung
Typ SP und SCS: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT, 19/32-18UNS. Typ SCY: 1/8 Zoll, 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll, 1 Zoll / 1/8-27NPT, 1/4-18NPT. Typ SCAL: 1/4 Zoll, 3/8 Zoll, 1/2 Zoll, 3/4 Zoll. Typ SCF: Gewinde 3/8 Zoll, 1/2 Zoll / M26, M32 sowie Rohrtülle ø6 mm x ø8 mm, ø8 mm x ø10 mm
beidseitig absperrend (Typ SCAL: beidseitig absperrend und tropfarm)
Hochreine Chemikalien, Wasser, Gas, Druckluft
Die SEMICON CUPLA SP Type und die SCT Type haben dieselbe Druckstufe von 0.2 MPa {2 kgf/cm2} und sind beide beidseitig absperrend; Druckstufe und Ventilbauart unterscheiden sie also nicht. Für die SP Type spricht ein elektropoliertes Edelstahlgehäuse (SUS304) mit Gummidichtung, die passend zum Medium als FKM, EPDM, Perfluorelastomer (P) oder Kalrez (KL) festgelegt werden kann, sowie der Größenbereich von 1/8 Zoll bis 1 Zoll einschließlich 1/8-27NPT, 1/4-18NPT und 19/32-18UNS. Es gilt der Einsatztemperaturbereich 0 deg C bis +50 deg C.
SCAL-2S x SCAL-2P: 24, SCAL-3S x SCAL-3P: 41, SCAL-4S x SCAL-4P: 59, SCAL-6S x SCAL-6P: 108
Typ SCF minimaler Querschnitt (mm2)
SCF-2SP: 23.8, SCF-3SP: 44.2
Typ SCAL Sonderanfertigung
Flanschausführung
WAF
WAF steht für Schlüsselweite.
Austauschbarkeit und Baugruppen
SP Type: Muffen und Stecker lassen sich unabhängig von der Anschlussausführung verbinden, wenn die erste Zahl im Modellnamen übereinstimmt. SCS Type: Muffen und Stecker lassen sich unabhängig von der Anschlussausführung verbinden, wenn die Zahl [] im Modellnamen {SCS-[]S (P)} übereinstimmt; die Stecker lassen sich mit Muffen der SCY Type gleicher Größe verbinden, Einzelheiten siehe Interchangeability Check List. SCY Type: verbindbar mit Steckern der SCS Type gleicher Größe. SCAL Type: Muffen und Stecker lassen sich unabhängig von der Anschlussausführung verbinden, wenn die Zahl [] im Modellnamen {SCAL-[]S (P)} übereinstimmt. SCF Type: Muffen und Stecker lassen sich unabhängig von der Anschlussausführung verbinden, wenn die Zahl [] im Modellnamen {SCF-[]S (P)} übereinstimmt.
Sicherheits- und Einsatzhinweise
SCAL Type: Bei jeder Methode kann zu festes Anziehen das Gewinde beschädigen und zu Leckage führen; gehen Sie daher besonders sorgfältig vor.
SCAL Type: Zu festes Anziehen beschädigt das Gewindeteil und führt zu Leckage.
SCAL Type: Hinweis: Sehr geringe Gasmengen können durch den Balg aus Polytetrafluorethylen (PTFE) in der Muffe permeieren.
Lesen Sie vor dem Einsatz unbedingt den "Safety Guide" am Ende dieses Katalogs sowie das "Instruction Sheet", das den Produkten beiliegt.
Alle technischen Angaben auf dieser Seite stammen aus dem Nitto Kohki Gesamtkatalog Quick Connect Couplings C01en-b, Seite 143. Der vollständige Katalog steht auf dieser Seite als PDF zum Download bereit.
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