Drosselrückschlagventile für Reinraum
Strom- und Sperrventile
Drosselrückschlagventile der SMC-Serie AS-FPQ/FPG sind für den Einsatz in Reinraumumgebungen ausgelegt und steuern die Abluftgeschwindigkeit pneumatischer Zylinder. Sie kombinieren eine Drossel zur Geschwindigkeitseinstellung mit einem integrierten Rückschlagventil für die Gegenrichtung.
Die Baureihe umfasst über 50 Artikel mit Anschlussgrößen von M5 bis G1/2 sowie Schlauchanschlüssen von 4 bis 12 mm. Die reinraumtaugliche Ausführung reduziert Partikelabgabe und eignet sich für Halbleiter-, Display- und Laboranwendungen.
Eingesetzt werden diese Ventile zur Hubgeschwindigkeitsregelung von Zylindern in Reinraumzellen der Halbleiter- und Elektronikfertigung, in der Display-Produktion sowie in Labor- und Medizintechnik, wo eine geringe Partikelabgabe gefordert ist.
