Spezialkupplungen
Reinraumtechnik
Die Nitto Kohki Semicon-Cupla sind für Reinraum- und Halbleiteranwendungen entwickelt, bei denen Partikelfreiheit und Medienreinheit höchste Priorität haben. Die SP- und SCT-Serien aus elektropoliertem Edelstahl erzeugen bei jeder Betätigung nur minimale Partikelmengen und eignen sich für Prozessgase, Spülstickstoff und hochreine Medien in der Wafer-Fertigung.
Die beidseitig absperrende, totraumarme Bauform verhindert Medieneinschluss und Kontamination, die partikelarme Steckmechanik ist nach SEMI-S2-Sicherheitsrichtlinien konzipiert und für ISO-Klasse-Umgebungen geeignet. FKM-Dichtungen und SUS-316L-Gehäuse sichern Korrosions- und Medienbeständigkeit.
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Ratgeber
Reinraumtechnik richtig auswählen
Worauf es bei der Auswahl ankommt: Eigenschaften, Vergleich und typische Einsatzbereiche.
Technische Vorteile - Semicon-Cupla im Überblick
Reinraum-Kupplungen - Nitto Kohki vs. Parker vs. Stäubli vs. Rectus
| Kriterium | Nitto Kohki | Parker | Stäubli | Rectus |
|---|---|---|---|---|
| Dedizierte Reinraumserie | Ja (Semicon SP/SCT) | Begrenzt | Ja (CGO) | Nicht spezifiziert |
| Reinraumeignung | partikelarm, ISO-Klasse | eingeschränkt | ISO-Klasse 4-6 | nicht spezifiziert |
| Werkstoff | SUS 316L elektropoliert | Edelstahl | Edelstahl | Stahl/Messing |
| Beidseitige Absperrung | Ja | Teilweise | Ja | Begrenzt |
| SEMI-S2-Auslegung | Ja | Nein | Teilweise | Nein |
| Hochreingas-Eignung | Ja | Teilweise | Ja | Nein |
Produktübersicht & Typische Einsatzbereiche
| Baureihe | Anwendung | Werkstoff | Besonderheit |
|---|---|---|---|
| Semicon SP Cupla | Halbleiter-Prozessgase | SUS 316L elektropoliert | partikelarm, totraumarm |
| Semicon SCT Cupla | Reinraum, hochreine Medien | SUS 316L | beidseitige Absperrung, SEMI S2 |
Typische Einsatzbereiche: Halbleiter- und Wafer-Fertigung, Reinraumprozesse der Mikroelektronik und Photovoltaik, Pharma- und Medizintechnik (GMP), Analysen- und Labortechnik mit hochreinen Gasen sowie Anlagen nach SEMI S2 und ISO 14644.